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杭州的晶圓廠的布局
2020-06-01 09:28:11
詳細(xì)內(nèi)容

根據(jù)當(dāng)時(shí)杭州發(fā)布的杭州市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃通知顯示,在2017年之前,杭州在芯片特色工藝制造和特殊工藝集成電路設(shè)計(jì)制造一體化等方面就已經(jīng)形成了一定的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),當(dāng)時(shí)杭州擁有5條芯片制造生產(chǎn)線,分布在士蘭集成、士蘭集昕、立昂微、立昂東芯、??滴⒂暗绕髽I(yè)。


以IDM模式運(yùn)營(yíng)的士蘭微在晶圓制造方面具有優(yōu)勢(shì)。資料顯示,從生產(chǎn)線的角度來(lái)看,2000年底,士蘭微開(kāi)始籌建芯片生產(chǎn)線,并于2001年在杭州建設(shè)了第一條5寸芯片生產(chǎn)線。


2003年上市之后,士蘭微再建6寸芯片生產(chǎn)線,用于0.8~2.0微米的集成電路芯片生產(chǎn),使得士蘭微擁有了設(shè)計(jì)和制造的雙重優(yōu)勢(shì)。2015年,新增一條8寸芯片生產(chǎn)線,2016年增資6億元助力8寸線建設(shè)。


杭州士蘭集昕微電子有限公司成立于2015年,為士蘭微電子8英寸集成電路芯片生產(chǎn)線的實(shí)施主體。公司于2017年正式投產(chǎn),設(shè)計(jì)月產(chǎn)能10萬(wàn)片,現(xiàn)已具備月產(chǎn)4萬(wàn)片生產(chǎn)能力。


立昂創(chuàng)辦之初即引進(jìn)美國(guó)安森美公司具有國(guó)際先進(jìn)水平的全套肖特基芯片工藝技術(shù)、生產(chǎn)設(shè)備及質(zhì)量管理體系,建立了6英寸半導(dǎo)體生產(chǎn)線,成為國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平的功率器件生產(chǎn)線。


立昂東芯擁有6寸砷化鎵(GaAs)晶圓代工線1條,且能夠提供6英寸砷化鎵半導(dǎo)體器件生產(chǎn)對(duì)外加工服務(wù),開(kāi)發(fā)具有世界領(lǐng)先水平的銦鎵磷異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管(InGaP HBT)和砷化鎵高電子遷移率晶體管(GaAs pHEMT)等射頻集成電路(RFIC)生產(chǎn)工藝技術(shù)。第一期規(guī)劃年產(chǎn)6英寸砷化鎵芯片5萬(wàn)片。


??滴⒂皠t是由??低曉O(shè)立的專業(yè)從事 MEMS 傳感器研發(fā)和生產(chǎn)的高科技企業(yè),公司計(jì)劃建設(shè)一條 MEMS 晶圓生產(chǎn)線。


在2017年之后,杭州這些廠商在芯片制造上的投入也有所增加。根據(jù)公開(kāi)消息顯示:根據(jù)士蘭微2019年上半年的財(cái)報(bào)顯示,士蘭微電子在自有的 8 英寸芯片生產(chǎn)線上已經(jīng)全部實(shí)現(xiàn)了幾類關(guān)鍵工藝的研發(fā)與批量生產(chǎn)。


同時(shí),財(cái)報(bào)中還有顯示,隨著 8 吋芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目投產(chǎn),以及化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線項(xiàng)目和 12 吋芯片特色工藝芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目建設(shè)加快推進(jìn),將持續(xù)推動(dòng)士蘭微電子整體營(yíng)收的較快成長(zhǎng)。


此外,2019年7月,士蘭微董事會(huì)還審議通過(guò)了《關(guān)于投資建設(shè)士蘭集昕二期項(xiàng)目的議案》,同意公司控股子公司杭州士蘭集昕對(duì)8吋芯片生產(chǎn)線進(jìn)行技術(shù)改造,形成新增年產(chǎn)43.2萬(wàn)片8英寸芯片制造能力。


根據(jù)公告,士蘭集昕二期項(xiàng)目總投資15億元,建設(shè)周期約為五年,分兩期進(jìn)行。其中,一期計(jì)劃投資6億元,形成年產(chǎn)18萬(wàn)片8英寸芯片的產(chǎn)能。二期計(jì)劃投資9億元,形成年產(chǎn)25.2萬(wàn)片8英寸芯片的產(chǎn)能。


而從市場(chǎng)中看,目前晶圓制造在向12英寸晶圓發(fā)展,就此趨勢(shì),坐落于杭州的晶圓廠也開(kāi)始在12英寸晶圓制造上展開(kāi)了布局。(士蘭微12英寸特色工藝芯片項(xiàng)目落戶于廈門(mén),因此,在此不多描述。)


2019年9月,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司大硅片項(xiàng)目建設(shè)工程竣工。此舉標(biāo)志著杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司歷時(shí)1年8個(gè)月的建設(shè),完成了8英寸大硅片的正式量產(chǎn),12英寸大硅片生產(chǎn)線進(jìn)入調(diào)試、試生產(chǎn)階段。


據(jù)悉,后續(xù)杭州中欣將完成12英寸生產(chǎn)線的設(shè)備安裝調(diào)試、工藝調(diào)試、品質(zhì)認(rèn)定等流程,在2019年年底生產(chǎn)出高品質(zhì)的12英寸半導(dǎo)體大硅片。


在2020年杭州集成電路新的工作計(jì)劃中,中欣的12英寸大硅片項(xiàng)目也位列其中。根據(jù)公開(kāi)資料顯示,在2018年到2021年間,中欣計(jì)劃建設(shè)3條8英寸產(chǎn)線以及2條12英寸半導(dǎo)體硅片產(chǎn)線,預(yù)計(jì)全部達(dá)產(chǎn)后,8英寸將達(dá)到年產(chǎn)540萬(wàn)片,12英寸年產(chǎn)288萬(wàn)片半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)能力。


與此同時(shí),今年在杭州新發(fā)布的關(guān)于集成電路的工作計(jì)劃當(dāng)中也包含了三個(gè)12英寸集成電路制造項(xiàng)目。具體來(lái)看,這三個(gè)項(xiàng)目分別是杭州積海半導(dǎo)體有限公司的12英寸集成電路制造項(xiàng)目、青山湖科技城高端儲(chǔ)存芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以及芯邁IDM項(xiàng)目。


根據(jù)公開(kāi)消息顯示,杭州積海半導(dǎo)體有限公司計(jì)劃啟動(dòng)月產(chǎn)2萬(wàn)片12英寸集成電路制造項(xiàng)目計(jì)劃分兩期建設(shè),項(xiàng)目一期規(guī)劃產(chǎn)能為2萬(wàn)片/月(12英寸晶圓)。


公司計(jì)劃一期一階段規(guī)劃產(chǎn)能為0.4萬(wàn)片/月;在一期一階段成功實(shí)施后,再啟動(dòng)第二階段,實(shí)現(xiàn)一期2萬(wàn)片/月產(chǎn)業(yè)化能力。在一期成功實(shí)施后,項(xiàng)目擇機(jī)啟動(dòng)二期建設(shè),新增產(chǎn)能4萬(wàn)片/月(12英寸晶圓)。


青山湖科技城高端儲(chǔ)存芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目計(jì)劃總投資180億元,該項(xiàng)目規(guī)劃用地180畝,總建筑面積10萬(wàn)平方米。計(jì)劃建成月產(chǎn)20000片12英寸28納米新型高端集成電路生產(chǎn)線。該項(xiàng)目預(yù)計(jì)一季度簽訂量產(chǎn)協(xié)議,二季度深化量產(chǎn)可研方案,三季度開(kāi)展施工圖設(shè)計(jì),爭(zhēng)取今年第四季度開(kāi)工建設(shè)。


芯邁IDM項(xiàng)目則擬建設(shè)模擬集成電路芯片生產(chǎn)基地,計(jì)劃總投資180億元,總用地面積約700畝,總體規(guī)劃,分兩期實(shí)施,力爭(zhēng)2020年開(kāi)工。據(jù)芯思想研究院的文章顯示,芯邁半導(dǎo)體與矽力杰(Silergy)有著緊密的關(guān)系。矽力杰是國(guó)內(nèi)知名的模擬電路設(shè)計(jì)公司,于2008年成立于杭州。


從6英寸到8英寸再到12英寸,杭州在晶圓制造上的發(fā)展是循序漸進(jìn)的,扎實(shí)的基礎(chǔ)以及跟隨市場(chǎng)革新相關(guān)技術(shù),會(huì)成為推動(dòng)杭州集成電路產(chǎn)業(yè)的力量之一。


———— / END / ————


引用自: 原創(chuàng) 蔣思瑩

免責(zé)聲明:源自原創(chuàng) 蔣思瑩。文章內(nèi)容系作者個(gè)人觀點(diǎn),轉(zhuǎn)載僅為了傳達(dá)不同觀點(diǎn)交流與提升半導(dǎo)體行業(yè)認(rèn)知,不代表對(duì)該觀點(diǎn)贊同或支持,如轉(zhuǎn)載涉及版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)發(fā)送消息至公號(hào)后臺(tái)與我們聯(lián)系,我們將在第一時(shí)間處理,非常感謝。

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